随着低碳经济的兴起及能源危机的到来，可再生绿色能源的开发及节能减排的推广，成为科学技术发展的重要课题与推动经济增长的重要产业。太阳能作为一种丰富清洁的能源，已经呈现爆炸式增长，在节能减排方面，Low-E玻璃的应用也日益广泛。

太阳能行业及Low-E玻璃对TCO靶材都有极大的需求，ITO靶材因其较低的电阻率，可见光波段较高的透光率，在环境中的稳定性，是作为TCO的主要的材料，但ITO靶材价格较高，制备工艺复杂，需要HIP，不适合柔性衬底镀膜，加之铟资源匮乏，限制了TCO靶材及相关行业的发展。

在过去的几十年，开展了大量以掺杂氧化锌和掺杂氧化锡替代ITO产品的研究开发，其中氧化铝掺杂氧化锌的材料效果较好AZO靶材及镀膜具有与ITO相近的电学和光学特性且原料丰富。为降低靶材成本，AZO成为透明导电薄膜材料的关注焦点。氧化锌机体中掺杂适当量的氧化铝，在透光率损失不大的前提下，可以提高导电性。国内AZO平面靶虽有一些厂家可以制备，但管状靶鲜有供应商能够提供，尤其是尺寸较大的靶材，存在密度、色泽及开裂的问题。

随着磁控溅射镀膜的发展，对成本降低的要求越来越高，平面AZO靶材的30～40％的利用率就难以降低成本，而管状AZO靶材70～90％的利用率就使得其成本优势极具吸引力。另外，平面靶溅射时功率无法很大，否则会造成开裂。管状AZO靶适用于大溅射功率，具有高生产效率。本发明通过喷雾干燥工艺对粉末制备的控制，既可以制备较大尺寸的平面AZO靶，也可制备较大尺寸的管状AZO靶材。

提供一种适用于平面和管状AZO靶材的AZO粉末制备方法，以及制备平面和管状AZO靶材的方法，用以制备性能优良的AZO薄膜。该方法采用纯度大于99.99％的ZnO粉末及纯度大于99.95％的氧化铝粉末，均匀湿混，以喷雾干燥工艺对其造粒，形成AZO粉末。并以喷雾干燥工艺制得的AZO粉末，压制成型，烧结成密度在90％～99％的大尺寸AZO平面靶和大尺寸AZO旋转靶，其中氧化铝占质量百分比为0.5～5％。

AZO粉末制备的具体步骤为：

按一定比例称取原料氧化锌，氧化铝，加入水，湿混均匀，获得固含量为50～70％的料浆，氧化铝占质量百分比范围为0.5～5％。

采用喷雾干燥器，不添加有机粘结剂，进行喷雾干燥造粒，制成AZO粉末。